Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях :...

Main
Physics
Процессы плазменного травления в микро-...

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учеб. пособие

Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов, ред.: С. П. Тимошенков, В. А. Галперин

0 / 0

Sukakah Anda buku ini?

Bagaimana kualitas file yang diunduh?

Unduh buku untuk menilai kualitasnya

Bagaimana kualitas file yang diunduh?

Kategori:

Halaman:

285

ISBN 10:

5996321297

ISBN 13:

9785996321292

File:

PDF, 5.38 MB

IPFS:

,

0

Mengunduh (pdf, 5.38 MB)

Pengubahan menjadi sedang diproses

Pengubahan menjadi gagal

Mungkin Anda tertarik

Бурцев — Применение ЭВМ при моделировании процессов термического напыления в вакууме

Максимов А.И. — ПЛАЗМОХИМИЯ НЕРАВНОВЕСНЫХ ПРОЦЕССОВ

Абдуллин И. Ш., Желтухин В. С., Сагбиев И. Р., Шаехов М. Ф., Казан. гос. технол. ун-т — Модификация нанослоев в высокочастотной плазме пониженного давления

Сагбиев И. Р. — ВЧ плазменная модификация поверхностных нанослоев металлов

Пичугин В. Ф. — Ионно-плазменные методы модифицирования поверхности и создания биосовместимых покрытий для медицинского применения

И. Ш. Абдуллин — Модификация нанослоев в высокочастотной плазме пониженного давления : монография

Нарайкин, О.С. — Введение в микросистемную технику

Ю.А. Юраков — Получение пористого кремния

Бахратов, А.Р. — Тестовые задачи по технологии микромеханических гироскопов и акселерометров

Кузнецов Г.Д., Кушхов А.Р. — Ионно-плазменная обработка металлов. Курс лекций.

Удовиченко С.Ю. — Пучково-плазменные технологии для создания материалов и устройств микро - и наноэлектроники. Часть 2-я

Светличный А.М., Наумченко А.С. — Конспект лекций по дисциплине Лучевые и плазменные методы формирования наноструктур интегральной электроники

Григорьев Ф.И. — Плазмохимическое и ионно-химическое травление в технологии микроэлектроники

Владимирова Людмила Николаевна, Дикарев Юрий Иванович, Рубинштейн Владимир Михайлович, Петраков Владимир Иванович — Плазменные технологии в микроэлектронике. Часть 3. Кинетика процессов реактивного ионно-плазменного травления полупроводников в галогенсодержащей плазме

Владимирова Людмила Николаевна, Дикарев Юрий Иванович, Рубинштейн Владимир Михайлович, Петраков Владимир Иванович — Плазменные технологии в микроэлектронике. Часть 2. Особенности радикального травления полупроводниковых материалов в галогенсодержащей плазме

Владимирова Людмила Николаевна, Дикарев Юрий Иванович, Рубинштейн Владимир Михайлович, Петраков Владимир Иванович — Плазменные технологии в микроэлектронике. Часть 1. Плазмохимическое травление материалов электронной техники

Максимов А.И. — ПЛАЗМОХИМИЯ НЕРАВНОВЕСНЫХ ПРОЦЕССОВ

Волков А. В. — Аппаратные средства микро- и нанотехнологий [Электронный ресурс] : науч.-образоват. модуль в системе дистанц. обучения MOODLE

Волков А. В. — Исследование технологических режимов плазменного ионно-химического травления на установке "Caroline PE15" [Электронный ресурс] : электрон. учеб.-метод. пособие

Сагбиев И. Р. — ВЧ плазменная модификация поверхностных нанослоев металлов (190,00 руб.)

Сунгатуллин Айрат Маратович — Влияние высокочастотной плазмы на гигиенические свойства композиционных материалов на основе кожи из шкур КРС (90,00 руб.)

Нарайкин О. С., Холевин В. В., Данилов И. И., Шалаев В. А. — Технология микросистемной техники. В 3 ч. Ч. 1. Методы микрообработки

Р. К. Яфаров — Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий

Щербаков Иван Александрович, Гусейн-заде Н. Г., Российская академия наук , Институт общей физики имени А.М. Прохорова — Труды Института общей физики им. А.М. Прохорова

Максимов А.И. — ВВЕДЕНИЕ В НЕЛИНЕЙНУЮ ФИЗИЧЕСКУЮ ХИМИЮ

Мартыненко Ю. В. — Плазменная нанотехнология. Ч. 1

Бычков С. П., Михайлов В. П., Панфилов Ю. В., Цветков Ю. Б., Цветков Ю. Б. — Физические основы микро- и нанотехнологий

Потловский, К.Г. — Нанотехнологии и микромеханика. Ч. 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники

Духопельников Д. В. — Магнетронные распылительные системы. В 2 ч. Ч. 1. Устройство, принципы работы, применение

Сырчин В.К., Зарянкин Н.М., Виноградов А.И. — Технологические процессы и оборудование производства электронных средств. Часть 1. Вакуумно-плазменные процессы и оборудование

Голишников А.А., Путря М.Г. — Плазменные технологии в наноэлектронике

Казан. гос. технол. ун-т — Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий (240,00 руб.)

Казан. гос. технол. ун-т — Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий

Абдуллин И. Ш., Гайнуллин Р. Н., Шаехов М. Ф., Казан. нац. исслед. технол. ун-т — Международная научная конференция «Плазменные технологии исследования, модификации и получения материалов различной физической природы» и Международная школа молодых ученых и специалистов «Плазменные технологии в исследовании и получении новых материалов»

Лучкин А. Г., Кашапов Н. Ф., Казан. нац. исслед. технол. ун-т — Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий

Istilah kunci

травления

поверхности

aгентство

процессов

скорость

электронов

материала

скорости

травление

материалов

процесса

параметров

давления

поверхность

технологические

мощности

активных

плазменного

травлении

химически

процессы

рабочего

результате

применение

технологических