Дефекты в кремнии и на его поверхности
Вавилов, Киселев, Мукашев.
Рассмотрены процессы образования дефектов в кристаллическом кремнии. Дан анализ микроструктуры дефектов, приведены сведения об энергетическом спектре локальных электронных состояний, связанных с различными типами дефектов в объеме и на поверхности кристаллов кремния. Рассказано о процессах миграции дефектов, их взаимодействиях друг с другом я с примесями. Для физиков и инженеров, занятых фундаментальными исследованиями и решением практических задач современной "кремниевой" микроэлектроники, а также для студентов старших курсов соответствующих специальностей.
Kategori:
Tahun:
1990
Penerbit:
Наука
Bahasa:
russian
Halaman:
108
ISBN 10:
5020140236
ISBN 13:
9785020140233
Nama seri:
Физика полупроводников и полупроводниковых приборов, ФПИПП
File:
DJVU, 2.94 MB
IPFS:
,
russian, 1990
Litres
Ingin menambahkan toko buku? Hubungi kami melalui support@z-lib.do
Konversi file
Lebih banyak hasil pencarian
Manfaat yang lain 
